플라즈마영상패널유전층보호막형성원

전 공정에서 투명유전층이 형성된 후 MgO(Magnesium oxide) 보호막을 형성시키기 위해 이동시킨다.MgO 보호막을 코팅하기 위해서는 주로 전자빔 진공증착법(E-beam Evaporation)을 이용한다.MgO 소스를 핵심재료로 하여 전자빔 증착장비를 작동시킨다.기판을 예열한 후 MgO 소스의 표면을 가속 전자로 가열시킨 후 기판을 냉각해 증발시킨다.이때 보호층 막이 표면 절연성이 높고 안정되도록 두께 균일도를 제어한다.증착이 된 MgO 막은 수분을 흡수하는 성질이 있어 가능한 하판과 바로 조립을 하도록 다음 공정으로 빠르게 이동시킨다.클린룸에서 방치를 하는 경우에는 습기가 제거된 환경에서 보관을 해야 한다.